睿能·非衡_系列

正負不對稱雙極性脈沖電源

PPS±feih

1. 產品概述

正負不對稱雙極性脈沖電源PPS±feih蘇州永創智能科技有限公司開發生產。睿能·非衡系列電源專為高級鍍膜工藝而設計的高精度、高性能電源解決方案。

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正負不對稱雙極性脈沖電源PPS±feih它創新性地采用了雙極性不對稱輸出設計，可獨立產生+1200V/選配2000V的正脈沖與-900V/選配1500V的負脈沖，并能在10kHz至50kHz的高頻范圍內進行精確的脈沖調制。通過獨立控制正負脈沖的寬度與頻率，該電源能實現對等離子體環境的精準塑造，顯著提升薄膜的附著力、致密性與綜合性能，是追求卓越鍍膜質量的用戶的理想選擇。

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正負不對稱雙極性脈沖電源PPS±feih蘇州永創智能科技有限公司開發生產。

2. 產品特點

①核心雙極不對稱輸出

正極性輸出高達 +1200V，負極性輸出達 -900V，這種獨特的電壓不對稱性，能為工藝過程提供更優化的能量輸入。

正脈沖占空比（80%~100%）與負脈沖占空比（20%~0%）協同可調，實現對離子轟擊與沉積過程的獨立精細控制，從而優化薄膜生長動力學。

②高頻精密脈沖調制

工作頻率在 10kHz ~ 50kHz 范圍內可數字設置，滿足不同工藝階段對脈沖頻率的多樣化需求。

輸出電流 0~1A 可調，確保在復雜工藝條件下仍能提供穩定、純凈的脈沖波形。

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③卓越的可靠性與穩定性

內置先進的軟啟動電路，有效抑制開機瞬間的電壓電流沖擊，保護電源本身及后端昂貴的鍍膜設備。

輸出電壓過沖被嚴格控制在極低水平，確保工藝重復性和膜層質量的一致性，保護基片與靶材。

④智能化與可視化操作

所有關鍵參數（電壓、頻率、占空比）均可通過前面板數字設置，并實時顯示工作狀態，操作直觀簡便。

3. 典型應用

①高級真空鍍膜

PVD（物理氣相沉積）： 如磁控濺射、電弧離子鍍等工藝中，作為基體偏壓電源，用于精確控制離子對基片的轟擊能量與方向。

制備高性能薄膜：如類金剛石薄膜（DLC）、氮化鈦薄膜（TiN）、氧化鋁薄膜等硬質、耐磨、防腐涂層

②表面工程與改性

等離子體浸沒離子注入與沉積。

材料表面清洗與活化處理。

③前沿科研領域

等離子體物理、新材料合成等需要對等離子體參數進行精密調控的科學研究。

4. 參數規格

序 項目........................要求

1. 輸出電壓....................正極性+1200V

? ?輸出電壓....................負極性-900V

2. 輸出電流.....................0~1A

3. 頻率........................10kHz~50kHz可設置

4. 占空比......................PWM1(正脈沖)占空比80~100%

5. 占空比......................PWM2(負脈沖)占空比20~0%

6. 注意事項1...................電源的電壓電流數據采用485傳輸

7. 注意事項2...................PWM1和PWM2是互補的關系，

8. 注意事項3...................PWM1和PWM2的占空比設置要加入死區(固定值或百分比，當頻率高的時候固定值合適點)

正負不對稱雙極性脈沖電源PPS±feih蘇州永創智能科技有限公司開發生產。波形如下

更多測試方案及測試設備資料請直接聯系蘇州永創智能的工程師16600001664獲得幫助。